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無塵車間工程

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防塵車間的標準

文章來源:東莞盛發凈化工程設備公司人氣:908發表時間:2020-01-07

在微電子生產工藝的無塵車間內,根據產品的生產流程將無塵車間劃分為換鞋區、風淋室、貨淋室、半成品區、成品裝配區、成品包裝區等多個區域。每個區域都達到標準的無塵標準進行技術性配置,這些都是無塵車間標準規范的基本之一。

無塵車間

氣流速度及其均勻度檢測,是無塵室效果的其他各項檢測的前提,這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區的平均氣流通度及其均勻性。
1、室內潔凈度的檢測:潔凈度的檢測是為了確定潔凈環境可達到的空氣潔凈度級別,可采用粒子計數器檢測。
2、自凈時間的檢測:通過確定自凈時間,查明潔凈室內部發生污染時恢復其原有潔凈度的能力。
3、照度的檢測:照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
4、振動的檢測:振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。
5、溫、濕度的檢測:溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測無塵室的送風溫度,檢測有代表性測點的空氣溫度,檢測無塵室中心點的空氣溫度,檢測敏感元件處的空氣度,檢測室內空氣相對溫度,檢測回風溫度。
無塵環境的重要環節是不讓微粒子的進入。在每一位工作人員在進入無塵車間前都要換上不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的防靜電無塵服、防靜電帽、防靜電鞋、防靜電手套、防塵口罩、無塵布等,并在風淋室利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進入無塵車間進行生產工作。
凈化車間標準是采用空氣潔凈技術對微生物污染采取程度不同的控制,以達到控制空間環境中空氣潔凈度適于各類凈化之要求;并提供適宜的溫、濕度,創造一個清新、潔凈、舒適、細菌數低的空間環境,可提供舒適的氣流,室內溫度可控制在22℃~26℃,濕度可控制在40%~60%之間,室內空氣清新、爽潔,環境舒適;凈化室是正壓氣流(對等級低且相鄰的潔凈區域壓力為+10-15Pa),可以防止外來污染物的進入,極大地降低了室內潔凈率。
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